SECS-II 메시지는 Stream과 Function에 의해 구분된다. Stream은 유사한 특성을 갖는 메시지의 그룹이고 Function은 각 Stream 내에서 특정한 기능을 하는 메시지를 가리킨다. Stream과 Function을 조합해서 흔히 S1F1, S6F11 등과 같이 SECS-II 메시지를 표현한다.SECS-II에서 사용하는 모든 Function은 일치하는 Primary와 Secondary 메시지 쌍의 Conversation을 따를 것이다.
Primary Message
Secondary Message
S : 1 ~127
F : Odd Number
S : 해당 Primary Message의 것과 동일
F : 해당 Primary Message의 F + 1 (Even Number)
F=0 in all Function : Abort Transaction.
List & Item
LIST는 자신이 어떤 데이터를 가지고 있지 않고 하부에 다른 데이터 형식을 취할 수 있는 형태의 데이터이고, 이외의 다른 형식은 모두 그 값이 표현하고 있는 데이터의 형식을 가리킨다.
GEM
SECS 프로토콜은 통신을 위한 최소한의 규약만을 제공할 뿐 실제 장비에서 발생하는 다양한 기능에 대한 동작 자체를 표준화하는 것은 아니었다. 모든 반도체 장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만 그 동작 방식이나 사용하는 메시지가 모두 다르다면 정말로 복잡한 일이 아닐 수 없다.
이러한 이유로 SEMI에서는 장비의 동작에 대한 시나리와 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데 이 표준이 E30 Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment이고 이를 간단히 줄여서 GEM(Generic Equipment Model)이라고 부른다.
GEM에서는 기능에 따른 장비의 동작 시나리오를 지정하고 이 시나리오에 따라 필요한 SECS-II 메시지를 선정해서 표준으로 삼고 있다.
1) GEM 사양의 구성
Fundamental Requirements : 반드시 구현해야 GEM
Additional Capabilities : 구현할 수도 있고 지원하지 않을 수도 있는 GEM
2) GEM의 기능 항목
State Models
Status Data Collection
Equipment Processing State
Alarm Management
Host-Initiated S1, F13/F14 Scenario
Remote Control
Event Notification
Equipment Constants
On-Line Identification
Process Program Management
Error Message
Material Movement
Documentation
Equipment Terminal Services
Control (Operator-Initiated)
Clock
Establish Communications
Limits Monitoring
Dynamic Event Report Configuration
Spooling
Variable Data Collection
Control(Host-Initiated)
Trace Data Collection
SEM
GEM을 통해 일반적인 장비의 동작 규약을 정하고 있지만 GEM만으로 반도체 생산에 투입되는 모든 장비의 사양을 규정하는 것은 실제로 불가능하다. 특히, 다른 공정 장비와 비교할 때 작업 자체가 색다른 반송장비나 Stocker등의 경우는 GEM만으로는 부족하다.
이러한 이유로 특별한 장비에 적용되는 사양은 따로 SEM(Specific Equipment Model)사양을 정해서 관리하고 있다. SEM이 특정 장비에 맞는 모델이라고는 하지만, 그 기본은 GEM을 전제로 하고 있다.
ISEM(Inspection SEM)
IBSEM(Interbay/Intrabay AMHS SEM)
Stoker SEM(AMHS Storage SEM)
PSEM(Prober SEM) or PSEM300
TSEM(Tester SEM)
HSEM(Handler SEM)
Message 구조
Stream & Function
SECS-II 메시지는 Stream과 Function에 의해 구분된다. Stream은 유사한 특성을 갖는 메시지의 그룹이고 Function은 각 Stream 내에서 특정한 기능을 하는 메시지를 가리킨다. Stream과 Function을 조합해서 흔히 S1F1, S6F11 등과 같이 SECS-II 메시지를 표현한다.SECS-II에서 사용하는 모든 Function은 일치하는 Primary와 Secondary 메시지 쌍의 Conversation을 따를 것이다.
Primary Message
Secondary Message
S : 1 ~127
F : Odd Number
S : 해당 Primary Message의 것과 동일
F : 해당 Primary Message의 F + 1 (Even Number)
F=0 in all Function : Abort Transaction.
List & Item
LIST는 자신이 어떤 데이터를 가지고 있지 않고 하부에 다른 데이터 형식을 취할 수 있는 형태의 데이터이고, 이외의 다른 형식은 모두 그 값이 표현하고 있는 데이터의 형식을 가리킨다.
GEM
SECS 프로토콜은 통신을 위한 최소한의 규약만을 제공할 뿐 실제 장비에서 발생하는 다양한 기능에 대한 동작 자체를 표준화하는 것은 아니었다. 모든 반도체 장비가 SECS 프로토콜에 의해 통신을 하지만 그 동작 방식이나 사용하는 메시지가 모두 다르다면 정말로 복잡한 일이 아닐 수 없다.
이러한 이유로 SEMI에서는 장비의 동작에 대한 시나리와 이때 사용되는 메시지를 묶어서 장비 구동에 관한 표준을 마련했는데 이 표준이 E30 Generic Model for Communication and Control of Manufacturing Equipment이고 이를 간단히 줄여서 GEM(Generic Equipment Model)이라고 부른다.
GEM에서는 기능에 따른 장비의 동작 시나리오를 지정하고 이 시나리오에 따라 필요한 SECS-II 메시지를 선정해서 표준으로 삼고 있다.
1) GEM 사양의 구성
Fundamental Requirements : 반드시 구현해야 GEM
Additional Capabilities : 구현할 수도 있고 지원하지 않을 수도 있는 GEM
2) GEM의 기능 항목
State Models
Status Data Collection
Equipment Processing State
Alarm Management
Host-Initiated S1, F13/F14 Scenario
Remote Control
Event Notification
Equipment Constants
On-Line Identification
Process Program Management
Error Message
Material Movement
Documentation
Equipment Terminal Services
Control (Operator-Initiated)
Clock
Establish Communications
Limits Monitoring
Dynamic Event Report Configuration
Spooling
Variable Data Collection
Control(Host-Initiated)
Trace Data Collection
SEM
GEM을 통해 일반적인 장비의 동작 규약을 정하고 있지만 GEM만으로 반도체 생산에 투입되는 모든 장비의 사양을 규정하는 것은 실제로 불가능하다. 특히, 다른 공정 장비와 비교할 때 작업 자체가 색다른 반송장비나 Stocker등의 경우는 GEM만으로는 부족하다.
이러한 이유로 특별한 장비에 적용되는 사양은 따로 SEM(Specific Equipment Model)사양을 정해서 관리하고 있다. SEM이 특정 장비에 맞는 모델이라고는 하지만, 그 기본은 GEM을 전제로 하고 있다.
